传动系统 XY轴: 直线电机 Z轴: 伺服电机 丝杆模组
重复定位精度(3sigma)XY +5um;Z +5um
点位精度(3sigma)XY轴: +15 um; Z+10 um
最大运动速度/加速度XY轴:1500mm/sec; 1.5gZ轴: 500mm/sec; 0.5g
Z轴运动范围(WxD) 350mmx475mm
五轴lens点胶系统(Lens)四轴倾斜FA点胶系统(FA)
Dispensing Process Solution for 400G, 800G 1.6T Lens/FA